[实用新型]一种用于离子注入机的检测装置

权利要求书

1.一种用于离子注入机的检测装置，包括外筒(3)，其特征在于，所述外筒(3)的上方固定插接有连接圈(2)，所述连接圈(2)的上方螺纹连接有离子发散环(1)，所述外筒(3)的下方固定焊接有靶室(4)，所述外筒(3)的中间部分开设有滑动口(5)，所述滑动口(5)的内部通过滑动结构安装有滑动仓(6)，所述外筒(3)的一侧通过转动结构安装有两个盖板(7)，所述盖板(7)位于滑动仓(6)的上下，所述滑动口(5)的内部安装有限位结构，所述滑动仓(6)的两端侧壁开设有与限位结构相对应的凹槽(11)，所述限位结构位于凹槽(11)的内部，所述外筒(3)的内部对称固定焊机有安装环(12)，所述安装环(12)的相对侧插接有移动圈(15)，所述移动圈(15)位于安装环(12)内部的一侧宽度增加并且固定焊接有第一弹簧(16)，所述第一弹簧(16)的另一端固定焊接于安装环(12)的内部，所述移动圈(15)位于滑动仓(6)一端的内部，所述滑动仓(6)另一端内的底部固定焊接有支撑圈(13)，所述支撑圈(13)的上方固定插接有法拉第杯(14)。

2.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的检测装置，其特征在于，所述滑动结构包括多个第二滑动条(9)，所述第二滑动条(9)均为圆心相同的弧形，所述第二滑动条(9)固定焊接于滑动口(5)的上下内壁，所述滑动仓(6)的顶端和底部均开设有与第二滑动条(9)相对应的滑动槽(10)，所述滑动条(9)位于滑动槽(10)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的检测装置，其特征在于，所述转动结构包括第一滑动条(8)，所述第一滑动条(8)弧度焊接于外筒(3)的外圈，所述第一滑动条(8)的两端设有宽度增加的挡块，所述第一滑动条(8)的外圈宽度增加并且位于盖板(7)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的检测装置，其特征在于，所述限位结构包括移动块(17)，所述移动块(17)放置于外筒(3)的内部，所述移动块(17)的内部通过转动环转动安装有转轴(19)，所述转轴(19)的外圈套设有转动圈(18)，所述转动圈(18)的一侧位于移动块(17)一端的内部，所述移动块(17)的另一端固定焊接有多个第二弹簧(20)的一端，所述第二弹簧(20)的另一端与外筒(3)的内部固定焊接。

5.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的检测装置，其特征在于，所述滑动仓(6)一端的内部设有与移动圈(15)外圈尺寸相同的通口，所述移动圈(15)的外侧设有密封层。