[实用新型]一种用于离子注入机的检测装置

说明书

本实用新型涉及离子注入机技术领域，尤其是一种用于离子注入机的检测装置，所述外筒的上方固定插接有连接圈，所述外筒的下方固定焊接有靶室，所述滑动口的内部通过滑动结构安装有滑动仓，所述外筒的一侧通过转动结构安装有两个盖板，所述滑动口的内部安装有限位结构，所述滑动仓的两端侧壁开设有与限位结构相对应的凹槽，所述限位结构位于凹槽的内部，所述外筒的内部对称固定焊机有安装环，所述安装环的相对侧插接有移动圈，所述支撑圈的上方固定插接有法拉第杯。此装置设计合理，通过滑动仓和盖板的设置，从而使得在需要检测离子时能够方便的更换滑动仓，并且能够方便法拉第杯的更换，方便了人们使用。

技术领域

本实用新型涉及离子注入机领域，尤其涉及一种用于离子注入机的检测装置。

背景技术

现有技术中的离子注入机为了提高工作质量，需要在扫描盘上安装法拉第杯，在离子注入机中设置电流测量机构，法拉第杯所接收到的所述离子束的多少不同，使得转化的电流的大小不同，所述电流测量单元对转化的电流的大小进行检测，从而可以快速判断出离子束与扫描盘相对注入角度的偏离程度并可以将偏离信息及时反馈回控制端进行调整，为了方便法拉第杯的快速接入和更换，提高检测的工作效率，为此，本实用新型提出一种用于离子注入机的检测装置用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于离子注入机的检测装置。

为达到以上目的，本实用新型采用的技术方案为：一种用于离子注入机的检测装置，包括外筒，所述外筒的上方固定插接有连接圈，所述连接圈的上方螺纹连接有离子发散环，所述外筒的下方固定焊接有靶室，所述外筒的中间部分开设有滑动口，所述滑动口的内部通过滑动结构安装有滑动仓，所述外筒的一侧通过转动结构安装有两个盖板，所述盖板位于滑动仓的上下，所述滑动口的内部安装有限位结构，所述滑动仓的两端侧壁开设有与限位结构相对应的凹槽，所述限位结构位于凹槽的内部，所述外筒的内部对称固定焊机有安装环，所述安装环的相对侧插接有移动圈，所述移动圈位于安装环内部的一侧宽度增加并且固定焊接有第一弹簧，所述第一弹簧的另一端固定焊接于安装环的内部，所述移动圈位于滑动仓一端的内部，所述滑动仓另一端内的底部固定焊接有支撑圈，所述支撑圈的上方固定插接有法拉第杯。

优选的，所述滑动结构包括多个第二滑动条，所述第二滑动条均为圆心相同的弧形，所述第二滑动条固定焊接于滑动口的上下内壁，所述滑动仓的顶端和底部均开设有与第二滑动条相对应的滑动槽，所述滑动条位于滑动槽的内部。

优选的，所述转动结构包括第一滑动条，所述第一滑动条弧度焊接于外筒的外圈，所述第一滑动条的两端设有宽度增加的挡块，所述第一滑动条的外圈宽度增加并且位于盖板的内部。

优选的，所述限位结构包括移动块，所述移动块放置于外筒的内部，所述移动块的内部通过转动环转动安装有转轴，所述转轴的外圈套设有转动圈，所述转动圈的一侧位于移动块一端的内部，所述移动块的另一端固定焊接有多个第二弹簧的一端，所述第二弹簧的另一端与外筒的内部固定焊接。

优选的，所述滑动仓一端的内部设有与移动圈外圈尺寸相同的通口，所述移动圈的外侧设有密封层。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本装置能够在需要检测离子注入机的离子发射量时，推动滑动仓，使得滑动仓的另一端被推动进入外筒的内部，将滑动仓内部的法拉第杯连接入移动圈的内部，使得法拉第杯能够测量离子发射机的发射量，方便了操作的进行。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的图1中A处局部放大后的结构示意图；

图3为本实用新型的图1中B处局部放大后的结构示意图；

图4为本实用新型的部分结构剖面后的结构示意图；

图5为本实用新型的图4中C处局部放大后的结构示意图；