[实用新型]一种半导体检测用方便使用的椭偏仪有效
| 申请号: | 202022283062.1 | 申请日: | 2020-10-14 |
| 公开(公告)号: | CN213422227U | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
| 发明(设计)人: | 欧艳艳;于国斌 | 申请(专利权)人: | 于国斌 |
| 主分类号: | G01D11/30 | 分类号: | G01D11/30 |
| 代理公司: | 广州人才汇进知识产权代理事务所(普通合伙) 44763 | 代理人: | 袁翔 |
| 地址: | 510000 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种半导体检测用方便使用的椭偏仪,包括横板,所述横板顶部的两侧均固定连接有第一壳体,所述横板的底部固定连接有第二壳体,所述横板顶部的两侧均通过轴承活动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套,所述螺纹套相对的一侧固定连接有机体,所述螺纹杆的底部固定连接有第一链轮。本实用新型通过横板、第一壳体、第二壳体、螺纹杆、螺纹套、机体、第一链轮、限位杆、限位套、电机、第二链轮和限位块的配合,实现了拥有高度调节功能的目的,能够根据使用需求调节椭偏仪的使用高度,从而避免给使用者对椭偏仪进行使用带来麻烦,提高了使用者对椭偏仪的体验感,满足当今市场的需求。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 检测 方便 使用 椭偏仪 | ||
【主权项】:
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