[实用新型]一种半导体检测用方便使用的椭偏仪有效

专利信息
申请号: 202022283062.1 申请日: 2020-10-14
公开(公告)号: CN213422227U 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 欧艳艳;于国斌 申请(专利权)人: 于国斌
主分类号: G01D11/30 分类号: G01D11/30
代理公司: 广州人才汇进知识产权代理事务所(普通合伙) 44763 代理人: 袁翔
地址: 510000 广东省广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 检测 方便 使用 椭偏仪
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体检测用方便使用的椭偏仪,包括横板,所述横板顶部的两侧均固定连接有第一壳体,所述横板的底部固定连接有第二壳体,所述横板顶部的两侧均通过轴承活动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套,所述螺纹套相对的一侧固定连接有机体,所述螺纹杆的底部固定连接有第一链轮。本实用新型通过横板、第一壳体、第二壳体、螺纹杆、螺纹套、机体、第一链轮、限位杆、限位套、电机、第二链轮和限位块的配合,实现了拥有高度调节功能的目的,能够根据使用需求调节椭偏仪的使用高度,从而避免给使用者对椭偏仪进行使用带来麻烦,提高了使用者对椭偏仪的体验感,满足当今市场的需求。

技术领域

本实用新型涉及椭偏仪技术领域,具体为一种半导体检测用方便使用的椭偏仪。

背景技术

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器,由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器,但以往的椭偏仪大多不具有高度调节功能,不能根据使用需求调节椭偏仪的使用高度,从而给使用者对椭偏仪进行使用带来麻烦,降低了使用者对椭偏仪的体验感,不能满足当今市场的需求,由于以上存在的问题,降低了椭偏仪的实用性和使用性,针对性地推出了一种半导体检测用方便使用的椭偏仪。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体检测用方便使用的椭偏仪,具备拥有高度调节功能的优点,解决了以往椭偏仪不具有高度调节功能的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体检测用方便使用的椭偏仪,包括横板,所述横板顶部的两侧均固定连接有第一壳体,所述横板的底部固定连接有第二壳体,所述横板顶部的两侧均通过轴承活动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套,所述螺纹套相对的一侧固定连接有机体,所述螺纹杆的底部固定连接有第一链轮,所述横板顶部的两侧均固定连接有限位杆,所述限位杆的表面套设有限位套,所述限位套的表面与螺纹套的表面固定连接,所述第二壳体内腔的底部固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有第二链轮,所述第二链轮与第一链轮通过链条传动连接,所述螺纹杆和限位杆的顶部均固定连接有限位块。

优选的,所述第二壳体底部的两侧均固定连接有支腿,所述支腿的底部固定连接有防滑垫。

优选的,所述第一壳体正面的顶部开设有收容槽,所述收容槽的内壁固定连接有铭牌。

优选的,所述第一壳体正面的顶部固定连接有控制面板,所述第二壳体背面底部的右侧固定连接有接线盒。

优选的,所述第二壳体背面的底部通过铰链活动连接有检修门,所述检修门的表面贯穿设置有锁芯。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

1、本实用新型通过横板、第一壳体、第二壳体、螺纹杆、螺纹套、机体、第一链轮、限位杆、限位套、电机、第二链轮和限位块的配合,实现了拥有高度调节功能的目的,能够根据使用需求调节椭偏仪的使用高度,从而避免给使用者对椭偏仪进行使用带来麻烦,提高了使用者对椭偏仪的体验感,满足当今市场的需求,提高了椭偏仪的实用性和使用性,解决了以往椭偏仪不具有高度调节功能的问题。

2、本实用新型通过设置支腿和防滑垫,用于对椭偏仪进行支撑,通过设置收容槽,用于对铭牌进行收容,通过设置铭牌,用于标注椭偏仪的规格信息,通过设置控制面板,用于输入控制信号和显示工作信息,通过设置接线盒,用于连接和输送电能,通过设置检修门,用于对椭偏仪进行检修,通过设置锁芯,用于对检修门进行限定。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型结构主视图;

图3为本实用新型结构后视图。

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