[实用新型]一种半导体检测用方便使用的椭偏仪有效
| 申请号： | 202022283062.1 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN213422227U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 欧艳艳;于国斌 | 申请（专利权）人： | 于国斌 |
| 主分类号： | G01D11/30 | 分类号： | G01D11/30 |
| 代理公司： | 广州人才汇进知识产权代理事务所(普通合伙) 44763 | 代理人： | 袁翔 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 检测 方便 使用 椭偏仪 | ||
1.一种半导体检测用方便使用的椭偏仪，包括横板（1），其特征在于：所述横板（1）顶部的两侧均固定连接有第一壳体（2），所述横板（1）的底部固定连接有第二壳体（3），所述横板（1）顶部的两侧均通过轴承活动连接有螺纹杆（4），所述螺纹杆（4）的表面螺纹连接有螺纹套（5），所述螺纹套（5）相对的一侧固定连接有机体（6），所述螺纹杆（4）的底部固定连接有第一链轮（7），所述横板（1）顶部的两侧均固定连接有限位杆（8），所述限位杆（8）的表面套设有限位套（9），所述限位套（9）的表面与螺纹套（5）的表面固定连接，所述第二壳体（3）内腔的底部固定连接有电机（10），所述电机（10）的输出端固定连接有第二链轮（11），所述第二链轮（11）与第一链轮（7）通过链条传动连接，所述螺纹杆（4）和限位杆（8）的顶部均固定连接有限位块（12）。
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用方便使用的椭偏仪，其特征在于：所述第二壳体（3）底部的两侧均固定连接有支腿（13），所述支腿（13）的底部固定连接有防滑垫（14）。
3.根据权利要求1所述的一种半导体检测用方便使用的椭偏仪，其特征在于：所述第一壳体（2）正面的顶部开设有收容槽（15），所述收容槽（15）的内壁固定连接有铭牌（16）。
4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用方便使用的椭偏仪，其特征在于：所述第一壳体（2）正面的顶部固定连接有控制面板（17），所述第二壳体（3）背面底部的右侧固定连接有接线盒（18）。
5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用方便使用的椭偏仪，其特征在于：所述第二壳体（3）背面的底部通过铰链活动连接有检修门（19），所述检修门（19）的表面贯穿设置有锁芯（20）。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于于国斌，未经于国斌许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022283062.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
