[实用新型]一种硅片去胶专用辅助工具有效
| 申请号： | 202022275672.7 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN214160804U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 雍琪浩;武卫;刘建伟;由佰玲;刘园;孙晨光;王彦君;裴坤羽;祝斌;刘姣龙;常雪岩;杨春雪;谢艳;袁祥龙;张宏杰;刘秒;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片去胶专用辅助工具，包括底座；定位件，用于定位所述底座的所述定位件设置在所述底座底部；支撑件，设置在所述底座上；固定件，用于防止硅片倾倒的所述固定件设置在所述支撑件上。本实用新型的有益效果是有效的解决硅片自然倾倒对硅片造成损伤(崩边、裂片等),甚至可能会烫伤作业员的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 专用 辅助工具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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