[实用新型]一种蒸发源用组合隔热屏有效
申请号: | 202022133630.X | 申请日: | 2020-09-25 |
公开(公告)号: | CN213866394U | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 刘汝强;王殿春;赵旭荣 | 申请(专利权)人: | 山东国晶新材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 赵龙群 |
地址: | 251200 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种蒸发源用组合隔热屏,属于蒸镀技术领域。隔热屏包括PBN层和金属层,PBN层和金属层交替设置,PBN的热导率为2‑3W/M.K,热导率低,隔热效果好。本实用新型适用于蒸发源,通过PBN层和金属层的组合达到良好的隔热效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 蒸发 组合 隔热 | ||
【主权项】:
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