[实用新型]一种蒸发源用组合隔热屏

说明书

本实用新型涉及一种蒸发源用组合隔热屏，属于蒸镀技术领域。隔热屏包括PBN层和金属层，PBN层和金属层交替设置，PBN的热导率为2‑3W/M.K，热导率低，隔热效果好。本实用新型适用于蒸发源，通过PBN层和金属层的组合达到良好的隔热效果。

技术领域

本实用新型涉及一种蒸发源用组合隔热屏，属于蒸镀技术领域。

背景技术

现有蒸发源包括加热器和隔热屏，通过隔热屏达到热反射和阻止热传导的作用，阻止加热器的热损失，隔热屏采用多层金属组合，但金属本身具有高导热特性，其作为隔热屏使用时隔热效果较低，满足不了超高温蒸发源的需求，有鉴于此，研发一种隔热效果良好，适用于蒸发源的隔热屏是十分有必要的。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种蒸发源用组合隔热屏，通过PBN层和金属层的组合达到良好的隔热效果。

本实用新型的技术方案如下：

一种蒸发源用组合隔热屏，包括PBN层和金属层，PBN层和金属层交替设置，PBN的热导率为2-3W/M.K，热导率低，隔热效果好。

优选的，靠近加热器的一层为金属层，对加热器起到热反射的作用。

优选的，PBN层厚度为0.2mm-1mm。

优选的，金属层厚度为0.2mm-1mm。

优选的，PBN层设置1-4层。

优选的，金属层设置2-5层。

优选的，金属层材料选用钽、钼或不锈钢。

隔热屏使用时，将金属层一侧靠近加热器设置，通过隔热屏达到热反射和阻止热传导的作用，减少热量散发，满足超高温蒸发源的需求。

本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型适用于蒸发源，通过PBN层和金属层的组合达到良好的隔热效果。

2、本实用新型结构简单，可快速生产应用。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

其中：1、金属层；2、PBN层。

具体实施方式

下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。

实施例1：

本实施例提供一种蒸发源用组合隔热屏，包括PBN层2和金属层1，PBN层2和金属层1交替设置，PBN的热导率为2-3W/M.K，热导率低，隔热效果好。

靠近加热器的一层为金属层1，对加热器起到热反射的作用，PBN层2厚度为0.2mm，金属层厚度为0.2mm，PBN层设置1层，金属层设置2层，金属层材料选用钽。

隔热屏使用时，将金属层一侧靠近加热器设置，通过隔热屏达到热反射和阻止热传导的作用，减少热量散发，满足超高温蒸发源的需求。

实施例2：

一种蒸发源用组合隔热屏，结构如实施例1所述，不同之处在于，PBN层2厚度为1mm，金属层1厚度为1mm，PBN层2设置4层，金属层1设置5层，金属层材料选用钼。

实施例3：

一种蒸发源用组合隔热屏，结构如实施例1所述，不同之处在于，PBN层2设置2层，金属层1设置2层，如图1所示，金属层材料选用不锈钢。