[实用新型]一种蒸发源用组合隔热屏有效
| 申请号： | 202022133630.X | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN213866394U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;王殿春;赵旭荣 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 组合 隔热 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，包括PBN层和金属层，PBN层和金属层交替设置。
2.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，靠近加热器的一层为金属层。
3.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，PBN层厚度为0.2mm-1mm。
4.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，金属层厚度为0.2mm-1mm。
5.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，PBN层设置1-4层。
6.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，金属层设置2-5层。
7.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏，其特征在于，金属层材料选用钽、钼或不锈钢。
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