[实用新型]一种多道翻转刻蚀收料设备

摘要

一种多道翻转刻蚀收料设备，解决了现有的硅片刻蚀时，硅片与等离子气体接触效果差，不利于硅片的刻蚀的问题，其包括刻蚀箱、放置槽、铰链和密封门，所述刻蚀箱一端的中部设置有进气口，刻蚀箱另一端的中部设置有排气口，刻蚀箱底端的中部安装有伺服电机，刻蚀箱的内部内腔，内腔靠近一端位置处设置有方形盒，方形盒的一侧均匀设置有若干个排气管，伺服电机的顶端安装有转轴，转轴上套接有套筒，套筒的底端设置有固定盘，套筒的顶端通过固定螺栓安装有可拆卸盘，转轴的底端设置有限位盘，转轴的边缘处均匀设置有若干个限位块，本实用新型结构新颖，构思巧妙，使得等离子气体与硅片表面充分接触刻蚀，刻蚀效果好。