[实用新型]一种多道翻转刻蚀收料设备

权利要求书

1.一种多道翻转刻蚀收料设备，其特征在于：包括刻蚀箱(1)、进气口(2)、排气口(3)、连接法兰(4)、伺服电机(5)、内腔(6)、方形盒(7)、排气管(8)、转轴(9)、轴承(10)、套筒(11)、固定盘(12)、固定螺栓(13)、可拆卸盘(14)、限位盘(15)、限位块(16)、限位槽(17)、放置槽(18)、铰链(19)和密封门(20)，所述刻蚀箱(1)一端的中部设置有进气口(2)，刻蚀箱(1)另一端的中部设置有排气口(3)，刻蚀箱(1)底端的中部安装有伺服电机(5)，刻蚀箱(1)的内部内腔(6)，内腔(6)靠近一端位置处设置有方形盒(7)，方形盒(7)的一侧均匀设置有若干个排气管(8)，伺服电机(5)的顶端安装有转轴(9)，转轴(9)上套接有套筒(11)，套筒(11)的底端设置有固定盘(12)，套筒(11)的顶端通过固定螺栓(13)安装有可拆卸盘(14)，转轴(9)的底端设置有限位盘(15)，转轴(9)的边缘处均匀设置有若干个限位块(16)，套筒(11)对应限位块(16)位置处开设有限位槽(17)，固定盘(12)的顶端和可拆卸盘(14)的底端均开设有若干个放置槽(18)。

2.根据权利要求1所述的一种多道翻转刻蚀收料设备，其特征在于，所述转轴(9)通过轴承(10)与刻蚀箱(1)连接。

3.根据权利要求1所述的一种多道翻转刻蚀收料设备，其特征在于，所述刻蚀箱(1)的顶端通过铰链(19)安装有密封门(20)。

4.根据权利要求1所述的一种多道翻转刻蚀收料设备，其特征在于，所述进气口(2)和排气口(3)的一端均设置有连接法兰(4)。

5.根据权利要求1所述的一种多道翻转刻蚀收料设备，其特征在于，所述限位块(16)与限位槽(17)设置的数量均为四个，且位置一一对应。

6.根据权利要求1所述的一种多道翻转刻蚀收料设备，其特征在于，所述套筒(11)和可拆卸盘(14)对应固定螺栓(13)位置处均开设有螺栓孔。