[实用新型]压力传感器有效
申请号: | 202022101729.1 | 申请日: | 2020-09-23 |
公开(公告)号: | CN213022084U | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 王小平;曹万;李凡亮;吴登峰;施涛 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | G01L7/08 | 分类号: | G01L7/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型提供一种压力传感器,该压力传感器包括用于压力传感器的感振结构,该用于压力传感器的感振结构包括膜片,所述膜片具有中性面、与所述中性面同心的多个环形凸部、以及位于所述多个环形凸部与所述中性面相反的一侧的压接段,所述压接段的平整度为A,0≤A≤0.025mm。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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