[实用新型]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，包括用于压力传感器的感振结构，所述用于压力传感器的感振结构包括膜片，所述膜片具有中性面、与所述中性面同心的多个环形凸部、以及位于所述多个环形凸部与所述中性面相反的一侧的压接段，所述压接段的平整度为A，0≤A≤0.025mm。

2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述中性面的直径为D1,0.0190≤D1≤0.02mm。

3.如权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，D1为0.0195mm。

4.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，每个所述环形凸部的高度为H，0.10mm≤H≤0.12mm。

5.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述多个环形凸部的数量为B，3≤B≤7。

6.如权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，所述膜片的直径为D2，14.38mm≤D2≤14.5mm，B为5。

7.如权利要求6所述的压力传感器，其特征在于，相邻的两个环形凸部的间距为d，0.95mm≤d≤1.01mm。

8.如权利要求7所述的压力传感器，其特征在于，d为1mm。

9.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述环形凸部的截面形状为方形或者弧形。

10.如权利要求9所述的压力传感器，其特征在于，所述环形凸部的截面形状为弧形时，弧形半径为0.4mm。