[实用新型]压力传感器有效
申请号: | 202022101729.1 | 申请日: | 2020-09-23 |
公开(公告)号: | CN213022084U | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 王小平;曹万;李凡亮;吴登峰;施涛 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | G01L7/08 | 分类号: | G01L7/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
本实用新型提供一种压力传感器,该压力传感器包括用于压力传感器的感振结构,该用于压力传感器的感振结构包括膜片,所述膜片具有中性面、与所述中性面同心的多个环形凸部、以及位于所述多个环形凸部与所述中性面相反的一侧的压接段,所述压接段的平整度为A,0≤A≤0.025mm。
技术领域
本实用新型实施例涉及压力传感器技术领域,特别涉及一种压力传感器。
背景技术
在压力传感器中,为了使压力传感器的敏感元件与被测介质有效地隔离开,通常需要采用感振结构隔离,通过在感振结构和敏感元件之间灌充硅油,如此感振结构不仅起到隔离的作用,而且还起到将压力无损地传递给敏感元件。
然而现有技术中的感振结构容易出现封接不严实,漏油等现象。
实用新型内容
本实用新型实施方式的目的在于提供一种压力传感器,旨在提高压力传感器的密封效果。
为解决上述技术问题,本实用新型的实施方式提供了一种压力传感器,包括用于压力传感器的感振结构,所述用于压力传感器的感振结构包括膜片,所述膜片具有中性面、与所述中性面同心的多个环形凸部、以及位于所述多个环形凸部与所述中性面相反的一侧的压接段,所述压接段的平整度为A,0≤A≤0.025mm。
优选地,所述中性面的直径为D1,0.0190≤D1≤0.02mm。
优选地,D1为0.0195mm。
优选地,每个所述环形凸部的高度为H,0.10mm≤H≤0.12mm。
优选地,所述多个环形凸部的数量为B,3≤B≤7。
优选地,所述膜片的直径为D2,14.38mm≤D2≤14.5mm,B为5。
优选地,相邻的两个环形凸部的间距为d,0.95mm≤d≤1.01mm。
优选地,d为1mm。
优选地,所述环形凸部的截面形状为方形或者弧形。
优选地,所述环形凸部的截面形状为弧形时,弧形半径为0.4mm。
本实用新型通过将压接段的平整度设置在0≤A≤0.025mm,如此,在通过压环压接该压力传感器的感振结构时可以提高密封效果。
附图说明
一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明,这些示例性说明并不构成对实施例的限定,附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件,除非有特别申明,附图中的图不构成比例限制。
图1为本实用新型实施例提供的用于压力传感器的感振结构的一实施例的剖视图。
本实用新型附图标号说明:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉飞恩微电子有限公司,未经武汉飞恩微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022101729.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:航行警告接收机
- 下一篇:一种永磁驱动三电阻采样的硬件布局