[实用新型]化学气象沉积设备

摘要

本申请公开一种化学气象沉积设备，所公开的化学气象沉积设备包括腔室本体(100)、承载装置(300)和驱动机构(400)，其中：所述腔室本体(100)形成容纳腔(500)，所述承载装置(300)设置于所述容纳腔(500)中，且所述承载装置(300)包括承载部和基部，所述基部设置于所述腔室本体(100)的底壁上，所述承载部可转动地设置于所述基部上，所述承载部与所述驱动机构(400)相连，所述驱动机构(400)用于在取放片时驱动所述承载部升降和旋转。上述方案能够解决化学气象沉积设备的产能较低以及严重影响工作人员健康的问题。