[实用新型]化学气象沉积设备

说明书

本申请公开一种化学气象沉积设备，所公开的化学气象沉积设备包括腔室本体(100)、承载装置(300)和驱动机构(400)，其中：所述腔室本体(100)形成容纳腔(500)，所述承载装置(300)设置于所述容纳腔(500)中，且所述承载装置(300)包括承载部和基部，所述基部设置于所述腔室本体(100)的底壁上，所述承载部可转动地设置于所述基部上，所述承载部与所述驱动机构(400)相连，所述驱动机构(400)用于在取放片时驱动所述承载部升降和旋转。上述方案能够解决化学气象沉积设备的产能较低以及严重影响工作人员健康的问题。

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种化学气象沉积设备。

背景技术

晶圆的制造包含许多不同的阶段，每一阶段又包含各种不同的制程，气相沉积是其中重要的制程之一。气相沉积过程主要包含利用加热或等离子体等各种能源，通过化学反应的方式，在反应器内使实验物质之间发生化学反应或与相应的气体发生化学反应生成另一种气态化合物的技术，然后经过物理载带或者化学迁移的方式，使得这种气态化合物被输送到与反应物质源区温度不同的相应区域进行沉积，从而形成固态沉积物。

相关技术中，为降低化学气象沉积设备的成本，化学气象沉积设备会采用人工取放晶圆的方式，但是，化学气象沉积设备的载片台直径已经达到成年人手臂可触及范围的极限，导致载片台的直径无法继续增大，进而导致载片台上仅能够放置较少的晶圆，致使化学气象沉积设备的产能无法继续提高。同时，由于工艺温度的逐渐提高，工作人员在手动取放载片台远端的晶圆时，需要手臂跨越载片台，此时手臂受烘烤面积较大，而载片台温度通常在300℃至400℃时，手臂受高温烘烤严重，这将严重影响工作人员的健康。

实用新型内容

本申请公开一种化学气象沉积设备，能够解决化学气象沉积设备的产能较低以及严重影响工作人员健康的问题。

为解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

本申请实施例公开一种化学气象沉积设备，包括腔室本体、承载装置和驱动机构，其中：

所述腔室本体形成容纳腔，所述承载装置设置于所述容纳腔中，且所述承载装置包括承载部和基部，所述基部设置于所述腔室本体的底壁上，所述承载部可转动地设置于所述基部上，所述承载部与所述驱动机构相连，所述驱动机构用于在取放片时驱动所述承载部升降和旋转。

本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：

本申请实施例公开的化学气象沉积设备中，驱动机构驱动承载部升起后旋转，以使承载部上放置晶圆的承载面的位置发生变化，在具体地工作过程中，此种方式使得承载面上的不同位置能够转动至与工作人员的手臂靠近的位置，从而使得工作人员能够较容易地取放承载面上的不同位置的晶圆，进而使得工作人员能够在面积较大的承载装置上取放晶圆，能够防止工作人员在取放晶圆的过程中造成工作人员手臂的烫伤；与此同时，此种方式也可以使得承载面具有较大的尺寸，也就是承载面的面积较大，从而使得承载面上可以放置较多的晶圆，以提高化学气象沉积设备的产能。

附图说明

图1为本申请第一种实施例公开的化学气象沉积设备的示意图；

图2为本申请第二种实施例公开的化学气象沉积设备的示意图；

图3为本申请实施例公开的承载装置在承载晶圆时的示意图；

图4为本申请第一种实施例公开的化学气象沉积设备的部分结构示意图；

图5为本申请第二种实施例公开的化学气象沉积设备的部分结构示意图。

附图标记说明：

100-腔室本体、110-第一通孔、120-抽气孔、130-进气孔；