[实用新型]化学气象沉积设备

权利要求书

1.一种化学气象沉积设备，其特征在于，包括腔室本体(100)、承载装置(300)和驱动机构(400)，其中：

所述腔室本体(100)形成容纳腔(500)，所述承载装置(300)设置于所述容纳腔(500)中，且所述承载装置(300)包括承载部和基部，所述基部设置于所述腔室本体(100)的底壁上，所述承载部可转动地设置于所述基部上，所述承载部与所述驱动机构(400)相连，所述驱动机构(400)用于在取放片时驱动所述承载部升降和旋转。

2.根据权利要求1所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述基部包括加热器(320)和支撑部(330)，所述承载部包括载片台(310)，所述支撑部(330)设置于所述腔室本体(100)的底壁上，用于支撑所述加热器(320)，所述加热器(320)与所述支撑部(330)连接，所述载片台(310)可转动地设置于所述加热器(320)上，且与所述加热器(320)电连接。

3.根据权利要求2所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述驱动机构(400)包括驱动源(410)和动力输出轴(420)，所述驱动源(410)与所述动力输出轴(420)的一端相连，所述驱动源(410)位于所述容纳腔(500)外，所述腔室本体(100)的底壁上开设有第一通孔(110)，所述加热器(320)上开设有第二通孔(321)，所述动力输出轴(420)的另一端依次穿过所述第一通孔(110)和所述第二通孔(321)，且与所述载片台(310)相连，所述第一通孔(110)中设置有密封件(600)，用于密封所述第一通孔(110)。

4.根据权利要求2所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述加热器(320)上设置有电连接件(340)，所述载片台(310)通过所述电连接件(340)与所述加热器(320)电连接，在所述驱动机构(400)驱动所述载片台(310)从所述加热器(320)上升起时，所述载片台(310)与所述电连接件(340)分离；在所述驱动机构(400)驱动所述载片台(310)下降至所述加热器(320)上时，所述载片台(310)与所述电连接件(340)接触。

5.根据权利要求4所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述电连接件(340)为弹性电连接件，所述加热器(320)顶面上设置有安装槽，所述电连接件(340)部分设置在所述安装槽中，在所述驱动机构(400)驱动所述载片台(310)从所述加热器(320)上升起时，所述电连接件(340)处于自由状态，在所述驱动机构(400)驱动所述载片台(310)下降至所述加热器(320)上时，所述电连接件(340)处于压缩状态。

6.根据权利要求1所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述基部包括支撑部(330)，所述承载部包括载片台(310)和加热器(320)，所述支撑部(330)设置于所述腔室本体(100)的底壁上，用于支撑所述加热器(320)，所述加热器(320)可放置于所述支撑部(330)上，所述载片台(310)设置于所述加热器(320)上，且与所述加热器(320)电连接而接地连接。

7.根据权利要求6所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述加热器(320)的底面上设置有出线部(322)，所述驱动机构(400)位于所述容纳腔(500)外，所述腔室本体(100)的底壁上开设有第一通孔(110)，所述出线部(322)穿过所述第一通孔(110)与所述驱动机构(400)相连，所述第一通孔(110)中设置有密封件(600)，用于密封所述第一通孔(110)。

8.根据权利要求6所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述载片台(310)通过电连接件(340)与所述加热器(320)电连接，所述电连接件(340)具有平行于所述加热器(320)底面的第一延伸部和垂直于所述第一延伸部的第二延伸部，所述第一延伸部与所述加热器(320)相连，所述第二延伸部与所述载片台(310)相连。