[实用新型]红外光学薄膜镀膜机有效
| 申请号： | 202022081431.9 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN213388868U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王为城 | 申请（专利权）人： | 厦门立扬光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/02 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了红外光学薄膜镀膜机。在真空室腔体内的上部设置工转架；在下部中心设置等离子体源，等离子体源的左右两侧设置第一、二电子枪；在中部设置第一、二修正板分别固定在第一、二驱动单元的安装杆上，第一、二驱动单元设置在真空室腔体外；在下部还设置布气管道通过布气系统与外界连接；在真空室腔体外安装膜厚仪，探头伸入工转架中；在真空室腔体的侧壁上安装真空计；电子枪、等离子体源、驱动单元、布气系统、真空计和膜厚仪都与控制单元连接。此结构无需加热，膜层设计层数可减少，镀膜时间大大缩短，膜层表面致密性好，耐划伤，耐腐蚀，减少了成本，生产效率提升，使用寿命延长，可应用于红外测温及探测等相关电子产品。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 光学薄膜 镀膜 | ||
【主权项】：
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