[实用新型]红外光学薄膜镀膜机有效
| 申请号： | 202022081431.9 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN213388868U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王为城 | 申请（专利权）人： | 厦门立扬光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/02 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 红外 光学薄膜 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.红外光学薄膜镀膜机，其特征在于：包括真空室腔体、工转架、第一修正板、第二修正板、第一电子枪、第二电子枪、等离子体源、布气系统、真空计、膜厚仪和控制单元；在真空室腔体内的上部设置一可转动的工转架用于承载镜片；在真空室腔体内的下部中心位置设置等离子体源；在真空室腔体内的下部且位于等离子体源的左右两侧设置第一电子枪和第二电子枪；在真空室腔体内的中部对应第一电子枪和第二电子枪的枪口分别设置第一修正板和第二修正板，第一修正板和第二修正板分别固定在第一驱动单元和第二驱动单元的安装杆上，第一驱动单元和第二驱动单元设置在真空室腔体外；在真空室腔体内的下部还设置布气管道，布气管道通过真空室腔体外的布气系统与外界管道连接；在真空室腔体外安装膜厚仪，膜厚仪的探头伸入真空室腔体内的工转架中；在真空室腔体的侧壁上安装真空计；第一电子枪、第二电子枪、等离子体源、第一驱动单元、第二驱动单元、布气系统、真空计和膜厚仪都与控制单元连接。
2.如权利要求1所述的红外光学薄膜镀膜机，其特征在于：所述工转架呈倒扣的碗形，底部具有旋转轴与第三驱动单元连接，由第三驱动单元带动工转架进行旋转，第三驱动单元与控制单元连接。
3.如权利要求1所述的红外光学薄膜镀膜机，其特征在于：所述第一电子枪和第二电子枪的枪口上方都安装挡板。
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