[实用新型]一种用于半导体芯片生产用机械手有效
申请号: | 202022055733.9 | 申请日: | 2020-09-18 |
公开(公告)号: | CN213647563U | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 张建锐;王虎斌 | 申请(专利权)人: | 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 |
主分类号: | B25J9/12 | 分类号: | B25J9/12;B25J19/00 |
代理公司: | 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 | 代理人: | 孙路生 |
地址: | 315100 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于半导体芯片生产用机械手,包括支撑板、底座、支撑柱和驱动电机,所述支撑板的顶端固定有底座,且底座的内部设置有驱动电机,所述底座的顶端设置有支撑柱,所述支撑柱的表面设置有滑槽,所述支撑柱的顶端设置有第一伺服电机,所述夹板的两侧均设置有遮挡结构,所述夹板的顶端或底端均设置有防护结构,所述支撑柱的内部活动有丝杆,所述丝杆底端与底端的外部套设有移动筒。本实用新型通过设置有调节结构,当需要拿取较远的物体时,启动第二伺服电机带动第二齿轮旋转,同时带动第一齿轮旋转,而在第一齿轮旋转的同时使得推杆旋转外移,此时导向板进行滑动,实现了该机械手长度调节。 | ||
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