[实用新型]一种用于半导体芯片生产用机械手有效

专利信息
申请号: 202022055733.9 申请日: 2020-09-18
公开(公告)号: CN213647563U 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 张建锐;王虎斌 申请(专利权)人: 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
主分类号: B25J9/12 分类号: B25J9/12;B25J19/00
代理公司: 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 代理人: 孙路生
地址: 315100 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 半导体 芯片 生产 机械手
【说明书】:

实用新型公开了一种用于半导体芯片生产用机械手,包括支撑板、底座、支撑柱和驱动电机,所述支撑板的顶端固定有底座,且底座的内部设置有驱动电机,所述底座的顶端设置有支撑柱,所述支撑柱的表面设置有滑槽,所述支撑柱的顶端设置有第一伺服电机,所述夹板的两侧均设置有遮挡结构,所述夹板的顶端或底端均设置有防护结构,所述支撑柱的内部活动有丝杆,所述丝杆底端与底端的外部套设有移动筒。本实用新型通过设置有调节结构,当需要拿取较远的物体时,启动第二伺服电机带动第二齿轮旋转,同时带动第一齿轮旋转,而在第一齿轮旋转的同时使得推杆旋转外移,此时导向板进行滑动,实现了该机械手长度调节。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域,具体为一种用于半导体芯片生产用机械手。

背景技术

一些电子设备内部都会安装有半导体,其中半导体芯片则是其中的一种,而半导体芯片在生产的过程中,需要经过一系列的步骤即可完成半导体芯片的制作,而半导体芯片在生产中通常使用到机械手,然而目前的机械手在使用的过程中仍然存在有一些不足点。

传统的此类半导体芯片生产用机械手,在使用时由于不便拿取距离相对较远物体,从而导致该机械手的实用性不佳的现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体芯片生产用机械手,以解决上述背景技术中提出机械手不便长度调节的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于半导体芯片生产用机械手,包括支撑板、底座、支撑柱和驱动电机,所述支撑板的顶端固定有底座,且底座的内部设置有驱动电机,所述底座的顶端设置有支撑柱,所述支撑柱的表面设置有滑槽,所述支撑柱的顶端设置有第一伺服电机,所述支撑柱一侧的顶端与底端均设置有调节结构,所述调节结构包括壳体、导向板、第一齿轮、第二齿轮、第二伺服电机以及推杆,所述壳体的一端与移动筒的一端固定连接,所述壳体的内部设置有推杆,且推杆一端贯穿壳体并与遮挡结构的一端固定连接,所述壳体内部的一端设置有第一齿轮,所述第一齿轮顶端的一侧设置有第二齿轮,所述壳体内部的顶端设置有第二伺服电机,且第二伺服电机底端与第二齿轮顶端的中心位置处固定连接,所述壳体底端的内部设置有导向板,且导向板一端贯穿壳体并与夹板底部的一端固定,所述调节结构的一端设置有夹板,所述夹板的两侧均设置有遮挡结构,所述夹板的顶端或底端均设置有防护结构,所述支撑柱的内部活动有丝杆,且丝杆的底端与驱动电机的顶端相连接,所述丝杆底端与底端的外部套设有移动筒。

优选的,所述推杆的表面设置有外螺纹,所述第一齿轮的内部设置有内螺纹,所述第一齿轮与第二齿轮之间相互啮合。

优选的,所述遮挡结构包括遮挡板、连接块、固定销以及凸块,所述遮挡板的底端固定有连接块,所述连接块的一侧等间距设置有固定销,所述连接块的内部设置有凸块,且凸块的一侧与夹板的一侧固定。

优选的,所述连接块呈“C”形设计,所述连接块内部的横截面大于凸块的横截面。

优选的,所述防护结构包括安装槽、软垫以及凸垫,所述安装槽设置在夹板的顶端,所述安装槽的内部设置有凸垫,所述凸垫的顶端固定有软垫,且软垫的顶端延伸至夹板的顶部。

优选的,所述安装槽的横截面大于凸垫的横截面,所述软垫与凸垫构成卡接结构。

优选的,所述移动筒顶端与底端螺纹纹路相反,所述移动筒关于移动筒的中心线呈对称分布。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该用于半导体芯片生产用机械手不仅实现了该机械手长度调节、实现了该机械手具有防护的效果同时实现了该机械手具有遮挡的现象;

(1)通过设置有调节结构,当需要拿取较远的物体时,启动第二伺服电机带动第二齿轮旋转,同时带动第一齿轮旋转,而在第一齿轮旋转的同时使得推杆旋转外移,此时导向板进行滑动,实现了该机械手长度调节;

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