[实用新型]一种晶圆平边寻边装置和光刻机有效
| 申请号： | 202022036164.3 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN213122599U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 李华;王晓军 | 申请（专利权）人： | 上海探跃半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种晶圆平边寻边装置和光刻机。该晶圆平边寻边装置包括：承载台，用于承托和固定晶圆；驱动旋转机构，用于驱动承载台并带动晶圆旋转；光纤束，包括至少一根光发射光纤和至少一根光接收光纤；光纤束的端口对准晶圆的边缘区域；工控板，与光纤束连接，用于向光发射光纤提供光信号，光信号经晶圆反射形成光反射信号；还用于接收光接收光纤采集的光反射信号，并根据光接收光纤采集的光反射信号生成平边到位信号；信号控制板，信号控制板的缺口到位信号端与工控板电连接，信号控制板通过缺口到位信号端接收平边到位信号。本实用新型实施例解决了现有光刻机只能对缺口型晶圆进行寻边的问题，能够简化寻边装置的结构，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆平边寻边 装置 光刻 | ||
【主权项】：
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