[实用新型]一种晶圆平边寻边装置和光刻机

说明书

本实用新型实施例公开了一种晶圆平边寻边装置和光刻机。该晶圆平边寻边装置包括：承载台，用于承托和固定晶圆；驱动旋转机构，用于驱动承载台并带动晶圆旋转；光纤束，包括至少一根光发射光纤和至少一根光接收光纤；光纤束的端口对准晶圆的边缘区域；工控板，与光纤束连接，用于向光发射光纤提供光信号，光信号经晶圆反射形成光反射信号；还用于接收光接收光纤采集的光反射信号，并根据光接收光纤采集的光反射信号生成平边到位信号；信号控制板，信号控制板的缺口到位信号端与工控板电连接，信号控制板通过缺口到位信号端接收平边到位信号。本实用新型实施例解决了现有光刻机只能对缺口型晶圆进行寻边的问题，能够简化寻边装置的结构，降低成本。

技术领域

本实用新型实施例涉及光刻技术领域，尤其涉及一种晶圆平边寻边装置和光刻机。

背景技术

随着半导体、LED行业的飞速发展，晶圆种类也越来越多，对测试要求也越来越高，对于晶圆的定位精度要求也越来越高。

目前光刻机中的寻边装置通常是针对具有缺口的晶圆的寻边定位装置，而并不适用于具有平边的晶圆的定位寻边。然而，在对现有光刻机进行改造时，传统的改造方式是将OF部的所有硬件部件、线路以及信号控制板进行更换，不仅大大增加了改造的成本，也浪费了生产时间。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶圆平边寻边装置和光刻机，以准确定位晶圆的平边，并减少对现有光刻机的改造成本和时间，提高光刻机的适用性。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种晶圆平边寻边装置，包括：

承载台，用于承托和固定晶圆；

驱动旋转机构，用于驱动所述承载台并带动所述晶圆旋转；

光纤束，包括至少一根光发射光纤和至少一根光接收光纤；所述光纤束的端口对准所述晶圆的边缘区域；

工控板，与所述光纤束连接，所述工控板用于向所述光发射光纤提供光信号，所述光信号经所述晶圆反射形成光反射信号；所述工控板还用于接收所述光接收光纤采集的光反射信号，并根据所述光接收光纤采集的所述光反射信号，生成平边到位信号；

信号控制板，所述信号控制板的缺口到位信号端与所述工控板电连接，所述信号控制板通过所述缺口到位信号端接收所述平边到位信号。

可选地，所述晶圆平边寻边装置包括两个光纤束，每个所述光纤束均包括至少一根光发射光纤和至少一根光接收光纤；所述两个光纤束的端口分别对准所述晶圆的边缘区域的两个位置；

所述工控板分别与所述两个光纤束连接，所述工控板用于根据所述两个光纤束中所述光接收光纤采集的所述光反射信号，生成平边到位信号。

可选地，所述两个光纤束的端口在所述晶圆所在平面的垂直投影均位于所述晶圆的边缘区域，且所述垂直投影与所述晶圆的圆心的距离，大于所述晶圆的平边与所述晶圆的圆心的距离。

可选地，所述两个光纤束的端口连线的中垂线经过所述晶圆的圆心。

可选地，所述两个光纤束的端口位于所述晶圆的下方。

可选地，还包括光纤放大器，所述两个光纤束分别与所述光纤放大器连接，所述光纤放大器与所述工控板通过两个连接光纤束连接。

可选地，所述信号控制板还包括缺口到位确认信号端，所述缺口到位确认信号端与所述工控板电连接；

所述工控板还用于接收所述光接收光纤采集的光反射信号，并根据所述光反射信号，生成平边到位确认信号；

所述信号控制板通过所述缺口到位确认信号端接收所述平边到位确认信号。

可选地，所述承载台上设置有吸附机构，以通过所述吸附机构将所述晶圆吸附固定在所述承载台上。