[实用新型]一种晶圆平边寻边装置和光刻机

权利要求书

1.一种晶圆平边寻边装置，其特征在于，包括：

承载台，用于承托和固定晶圆；

驱动旋转机构，用于驱动所述承载台并带动所述晶圆旋转；

光纤束，包括至少一根光发射光纤和至少一根光接收光纤；所述光纤束的端口对准所述晶圆的边缘区域；

工控板，与所述光纤束连接，所述工控板用于向所述光发射光纤提供光信号，所述光信号经所述晶圆反射形成光反射信号；所述工控板还用于接收所述光接收光纤采集的光反射信号，并根据所述光接收光纤采集的所述光反射信号，生成平边到位信号；

信号控制板，所述信号控制板的缺口到位信号端与所述工控板电连接，所述信号控制板通过所述缺口到位信号端接收所述平边到位信号。

2.根据权利要求1所述的晶圆平边寻边装置，其特征在于，所述晶圆平边寻边装置包括两个光纤束，每个所述光纤束均包括至少一根光发射光纤和至少一根光接收光纤；所述两个光纤束的端口分别对准所述晶圆的边缘区域的两个位置；

所述工控板分别与所述两个光纤束连接，所述工控板用于根据所述两个光纤束中所述光接收光纤采集的所述光反射信号，生成平边到位信号。

3.根据权利要求2所述的晶圆平边寻边装置，其特征在于，所述两个光纤束的端口在所述晶圆所在平面的垂直投影均位于所述晶圆的边缘区域，且所述垂直投影与所述晶圆的圆心的距离，大于所述晶圆的平边与所述晶圆的圆心的距离。

4.根据权利要求3所述的晶圆平边寻边装置，其特征在于，所述两个光纤束的端口连线的中垂线经过所述晶圆的圆心。

5.根据权利要求3所述的晶圆平边寻边装置，其特征在于，所述两个光纤束的端口位于所述晶圆的下方。

6.根据权利要求1所述的晶圆平边寻边装置，其特征在于，还包括光纤放大器，所述两个光纤束分别与所述光纤放大器连接，所述光纤放大器与所述工控板通过两个连接光纤束连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆平边寻边装置，其特征在于，所述信号控制板还包括缺口到位确认信号端，所述缺口到位确认信号端与所述工控板电连接；

所述工控板还用于接收所述光接收光纤采集的光反射信号，并根据所述光反射信号，生成平边到位确认信号；

所述信号控制板通过所述缺口到位确认信号端接收所述平边到位确认信号。

8.根据权利要求1所述的晶圆平边寻边装置，其特征在于，所述承载台上设置有吸附机构，以通过所述吸附机构将所述晶圆吸附固定在所述承载台上。

9.根据权利要求8所述的晶圆平边寻边装置，其特征在于，所述吸附机构包括设置在所述承载台的承载面上的吸附槽，以及位于所述承载台内部的真空抽吸通道；所述真空抽吸通道与所述吸附槽连通，以在所述真空抽吸通道抽真空时通过所述吸附槽将所述晶圆吸附固定在所述承载台的承载面上。

10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的晶圆平边寻边装置。