[实用新型]汞灯箱结构有效
| 申请号： | 202022020302.9 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN213457646U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 黄斌 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种汞灯箱结构，其用于半导体硅片边缘曝光工艺，包括：灯箱体用于容置汞灯，其底壁上形成有可调光圈，其一侧壁上形成有灯箱门；汞灯固定在可调光圈上方的灯箱体顶壁上；照度传感器安装在灯箱体内，其用于检测汞灯照度；温度传感器安装在灯箱体内，其用于灯箱体内温度；电源控制面板安装在灯箱体外侧壁上，其用于控制各用电部件的电源；显示装置安装在灯箱体外侧壁上，其用于显示照度传感器和/或温度传感器采集参数。本实用新型能实时监控汞灯寿命，能避免晶圆传送至于光刻位置后才发现照度不足产生非计划性宕机的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 灯箱 结构 | ||
【主权项】：
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