[实用新型]汞灯箱结构

权利要求书

1.一种汞灯箱结构，其用于半导体硅片边缘曝光工艺，其特征在于，包括：

灯箱体，其用于容置汞灯，其底壁上形成有可调光圈，其一侧壁上形成有灯箱门；

汞灯，其固定在可调光圈上方的灯箱体顶壁上；

照度传感器，其安装在灯箱体内，其用于检测汞灯照度；

温度传感器，其安装在灯箱体内，其用于灯箱体内温度；

电源控制面板，其安装在灯箱体外侧壁上，其用于控制各用电部件的电源；

显示装置，其安装在灯箱体外侧壁上，其用于显示照度传感器和/或温度传感器采集参数。

2.如权利要求1所述的汞灯箱结构，其特征在于，还包括：

第一报警灯，其连接照度传感器，其用于接收照度传感器的触发信号发出灯光报警；

其中，照度传感器设有照度阈值，当照度传感器采集参数小于照度阈值，则照度传感器发出触发信号。

3.如权利要求1所述的汞灯箱结构，其特征在于，还包括：

第二报警灯，其连接温度传感器，其用于接收温度传感器的触发信号发出灯光报警；

其中，温度传感器设有温度阈值，当温度传感器采集参数大于温度阈值，则温度传感器发出触发信号。

4.如权利要求1所述的汞灯箱结构，其特征在于：照度传感器和温度传感器还通过通信线缆连接半导体硅片边缘曝光机台控制器，将采集的照度参数和温度参数发送至半导体硅片边缘曝光机台控制器。

5.如权利要求1所述的汞灯箱结构，其特征在于，还包括：

计时器，其安装在灯箱体外侧壁上，其用于显示汞灯箱工作时间。

6.如权利要求1所述的汞灯箱结构，其特征在于：灯箱体是长方体。

7.如权利要求1所述的汞灯箱结构，其特征在于：显示装置是液晶显示面板。

8.如权利要求1所述的汞灯箱结构，其特征在于：显示装置和灯箱门设置在灯箱体同一外侧壁上。

9.如权利要求7所述的汞灯箱结构，其特征在于：显示装置位于灯箱门旁侧，电源控制面板位于显示装置下方的灯箱体外侧壁上。

10.如权利要求2所述的汞灯箱结构，其特征在于：第一报警灯安装在显示装置的旁侧。

11.如权利要求2所述的汞灯箱结构，其特征在于：第二报警灯安装在显示装置的旁侧。