[实用新型]一种离线式光罩盒光罩固定机构

摘要

本实用新型公开了一种离线式光罩盒光罩固定机构，包括：光罩盒和光罩，所述光罩盒分为上罩和下罩，所述光罩设置在上罩和下罩之间，所述上罩的内壁上安装有上固定机构，所述下罩的内壁上安装有下固定机构；所述上固定机构和下固定机构的结构相同且分别设置有4个，所述上固定机构包括固定板、弯曲段、托钩和螺母柱，所述上固定机构通过螺母柱并采用螺栓与上罩固定连接，所述下固定机构通过螺母柱并采用螺栓与下罩固定连接。本实用新型光罩支撑采用半圆支撑的固定方式，固定结构简单可靠；光罩左右圆弧面接触确保接触mask四角，接触面小，且带斜面导向，确保mask的有效固定。