[实用新型]一种离线式光罩盒光罩固定机构有效
| 申请号: | 202021945920.8 | 申请日: | 2020-09-08 |
| 公开(公告)号: | CN213149469U | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
| 发明(设计)人: | 童明 | 申请(专利权)人: | 上海赛瑾精密科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F1/66 | 分类号: | G03F1/66 |
| 代理公司: | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人: | 俞晨波 |
| 地址: | 200124 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 离线 式光罩盒光罩 固定 机构 | ||
1.一种离线式光罩盒光罩固定机构,包括:光罩盒(1)和光罩(2),其特征在于:所述光罩盒(1)分为上罩(10)和下罩(11),所述光罩(2)设置在上罩(10)和下罩(11)之间,所述上罩(10)的内壁上安装有上固定机构(4),所述下罩(11)的内壁上安装有下固定机构(5);
所述上固定机构(4)和下固定机构(5)的结构相同且分别设置有4个,所述上固定机构(4)包括固定板(6)、弯曲段(7)、托钩(8)和螺母柱(9),所述上固定机构(4)通过螺母柱(9)并采用螺栓与上罩(10)固定连接,所述下固定机构(5)通过螺母柱(9)并采用螺栓与下罩(11)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种离线式光罩盒光罩固定机构,其特征在于:所述弯曲段(7)与固定板(6)一体成型且弯折形成倒钩形结构,所述托钩(8)与弯曲段(7)的端部连接且与弯曲段(7)呈反向弯折。
3.根据权利要求2所述的一种离线式光罩盒光罩固定机构,其特征在于:所述托钩(8)的一端与弯曲段(7)连接、另一端的端面呈圆弧状且与光罩(2)贴合连接,所述弯曲段(7)与托钩(8)的连接处设置有支撑凸块(12),所述支撑凸块(12)的端部与光罩(2)外壁连接。
4.根据权利要求1所述的一种离线式光罩盒光罩固定机构,其特征在于:所述上罩(10)和下罩(11)后端采用铰链转动连接,所述上罩(10)和下罩(11)的前端设置有锁扣(3)且采用锁扣(3)连接。
5.根据权利要求4所述的一种离线式光罩盒光罩固定机构,其特征在于:靠近锁扣(3)的两个所述下固定机构(5)横向设置,远离锁扣(3)的两个所述下固定机构(5)纵向设置。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备





