[实用新型]一种离线式光罩盒光罩固定机构有效

专利信息
申请号: 202021945920.8 申请日: 2020-09-08
公开(公告)号: CN213149469U 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 童明 申请(专利权)人: 上海赛瑾精密科技有限公司
主分类号: G03F1/66 分类号: G03F1/66
代理公司: 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 代理人: 俞晨波
地址: 200124 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 离线 式光罩盒光罩 固定 机构
【权利要求书】:

1.一种离线式光罩盒光罩固定机构,包括:光罩盒(1)和光罩(2),其特征在于:所述光罩盒(1)分为上罩(10)和下罩(11),所述光罩(2)设置在上罩(10)和下罩(11)之间,所述上罩(10)的内壁上安装有上固定机构(4),所述下罩(11)的内壁上安装有下固定机构(5);

所述上固定机构(4)和下固定机构(5)的结构相同且分别设置有4个,所述上固定机构(4)包括固定板(6)、弯曲段(7)、托钩(8)和螺母柱(9),所述上固定机构(4)通过螺母柱(9)并采用螺栓与上罩(10)固定连接,所述下固定机构(5)通过螺母柱(9)并采用螺栓与下罩(11)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种离线式光罩盒光罩固定机构,其特征在于:所述弯曲段(7)与固定板(6)一体成型且弯折形成倒钩形结构,所述托钩(8)与弯曲段(7)的端部连接且与弯曲段(7)呈反向弯折。

3.根据权利要求2所述的一种离线式光罩盒光罩固定机构,其特征在于:所述托钩(8)的一端与弯曲段(7)连接、另一端的端面呈圆弧状且与光罩(2)贴合连接,所述弯曲段(7)与托钩(8)的连接处设置有支撑凸块(12),所述支撑凸块(12)的端部与光罩(2)外壁连接。

4.根据权利要求1所述的一种离线式光罩盒光罩固定机构,其特征在于:所述上罩(10)和下罩(11)后端采用铰链转动连接,所述上罩(10)和下罩(11)的前端设置有锁扣(3)且采用锁扣(3)连接。

5.根据权利要求4所述的一种离线式光罩盒光罩固定机构,其特征在于:靠近锁扣(3)的两个所述下固定机构(5)横向设置,远离锁扣(3)的两个所述下固定机构(5)纵向设置。

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