[实用新型]一种用于支撑化学气相沉积圆盘基片的工装

摘要

本实用新型属于化学气相沉积设备技术领域，公开一种用于支撑化学气相沉积圆盘基片的工装。包括托架和支座；托架包括两个L型板，L型板的竖板和横板的两自由端的边棱上均匀开设有凹槽；支座包括两个支撑架，支撑架呈U型或H型；两个支撑架前后对称间隔布置，两个L型板分别左右对称连接在两个支撑架之间。本实用新型工装结构设计合理，使用该工装将圆盘基片垂直放置于化学气相沉积炉内，对沉积室内流场影响小，使用工装沉积后的产品涂层包覆率高等优点。