[实用新型]一种用于支撑化学气相沉积圆盘基片的工装有效
| 申请号： | 202021943634.8 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN213357743U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 李江涛;张东生;吴恒;姚栋嘉;刘喜宗;杨超;王亚辉;张相国;王琰 | 申请（专利权）人： | 巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 郑州豫开专利代理事务所(普通合伙) 41131 | 代理人： | 张智伟 |
| 地址： | 451261 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 支撑 化学 沉积 圆盘 工装 | ||
1.一种用于支撑化学气相沉积圆盘基片的工装，其特征在于：包括托架和支座；
所述托架包括两个L型板，L型板的竖板和横板的两自由端的边棱上均匀开设有凹槽；
所述支座包括两个支撑架，支撑架呈U型或H型；
两个支撑架前后对称间隔布置，两个L型板按照连接方式①或连接方式②分别左右对称连接在两个支撑架之间；
所述连接方式①为：当支撑架呈U型或H型时，两个L型板左右对称分别设在两个支撑架的顶端并且L型板的竖板在外、横板在内、凹槽开口朝内；
所述连接方式②为：当支撑架呈H型时，两个L型板分别一体成型在两个支撑架的左右两上端之间并且L型板的横板与H型支撑架的横向支撑杆为一体、L型板的竖板与H型支撑架的竖向支撑杆为一体。
2.如权利要求1所述的用于支撑化学气相沉积圆盘基片的工装，其特征在于：所述托架和支座采用等静压石墨材质制成。
3.如权利要求1或2所述的用于支撑化学气相沉积圆盘基片的工装，其特征在于：L型板的两个板面同时为实心板、同时为中空板或者一个板面为实心板，另一个板面则为中空板。
4.如权利要求1或2所述的用于支撑化学气相沉积圆盘基片的工装，其特征在于：所述凹槽的横截面为外窄内宽的梯形。
5.如权利要求1或2所述的用于支撑化学气相沉积圆盘基片的工装，其特征在于：连接方式①中，当两个L型板左右对称分别设在两个支撑架的顶端时，L型板的横板的自由端分别设在与其同侧的两个支撑架的竖向支撑杆顶端。
6.如权利要求5所述的用于支撑化学气相沉积圆盘基片的工装，其特征在于：L型板的横板的自由端与两个支撑架的竖向支撑杆顶端之间通过螺栓连接。
7.如权利要求6所述的用于支撑化学气相沉积圆盘基片的工装，其特征在于：螺栓顶部设有螺栓盖。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
