[实用新型]一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构有效
| 申请号： | 202021901157.9 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN213860085U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 巩铁建;陶为银 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D7/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 范小方 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，包括底座，所述底座上设置有气缸二，气缸二上方设置有旋转支柱，旋转支柱上方安装有气缸一，气缸一左侧安装有移动托盘，且气缸一左侧通过弹簧一连接有橡胶条，所述底座上安装有料仓底座，料仓底座上设置有料仓框架，且料仓框架内设置有滑槽，滑槽内设置有滑块，所述底座上设置有凹槽，凹槽上安装有气缸三，气缸三上连接有提升托盘，提升托盘上设置有弹簧二，提升托盘上方安装有存放托盘，所述存放托盘上设置有梯形凸起块和梯形凹槽，存放托盘上放置有晶圆，所述底座右侧通过定滑轮连接有固定支架，底座上方设置有弧形凸起，且固定支架下方设置有弧形凹槽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 柔性 存料载具 移动 结构 | ||
【主权项】：
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