[实用新型]一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构

权利要求书

1.一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，包括底座（7），其特征在于：所述底座（7）上设置有气缸二（6），气缸二（6）上方设置有旋转支柱（5），旋转支柱（5）上方安装有气缸一（4），气缸一（4）左侧安装有移动托盘（1），且气缸一（4）左侧通过弹簧一（3）连接有橡胶条（2），所述底座（7）上安装有料仓底座（8），料仓底座（8）上设置有料仓框架（19），且料仓框架（19）内设置有滑槽（15），滑槽（15）内设置有滑块（14），所述底座（7）上设置有凹槽（10），凹槽（10）上安装有气缸三（9），气缸三（9）上连接有提升托盘（11），提升托盘（11）上设置有弹簧二（12），提升托盘（11）上方安装有存放托盘（16），所述存放托盘（16）上设置有梯形凸起块（17）和梯形凹槽（18），存放托盘（16）上放置有晶圆（13），所述底座（7）右侧通过定滑轮（21）连接有固定支架（20），底座（7）上方设置有弧形凸起（22），且固定支架（20）下方设置有弧形凹槽（23）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述料仓框架（19）为不锈钢材质左右镂空的半封闭式结构，且料仓框架（19）高度为50cm、宽度为30cm、厚度为1cm。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述梯形凸起块（17）设置有两组，存放托盘（16）左右两边各一组，且梯形凸起块（17）与梯形凹槽（18）贴合。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述橡胶条（2）呈矩形结构，且在移动晶圆（13）时橡胶条（2）与晶圆（13）贴合，所述弹簧一（3）设置有两组，分别设置在橡胶条（2）的两端。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述滑槽（15）材质为不锈钢，且滑槽（15）设置有两组料仓框架（19）前后两面各一组，所述滑块（14）材质为不锈钢材质，且滑块（14）设有两组，存放托盘（16）左右两边各一组。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述提升托盘（11）为不绣钢材质的矩形结构，提升托盘（11）设置有一组，分别设置于弹簧二（12）的上下两端。