[实用新型]一种晶圆研磨机构有效
| 申请号： | 202021897451.7 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN212886986U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 吴俊;向宏阳 | 申请（专利权）人： | 珠海市中芯集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 卢泽明 |
| 地址： | 519000 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆制备技术领域，尤其涉及一种晶圆研磨机构，本实用新型的研磨台包括研磨板和转动板，研磨板用于放置晶圆，并且研磨板能够随转动板转动，而研磨头包括连接有主动转轴的研磨片，研磨片相对研磨台倾斜设置，在工作时研磨片与晶圆之间为点接触，进而能够提升研磨的稳定性，保证研磨的质量，避免晶圆外表面出现烧焦或破片的问题，并且研磨片和研磨板均能够转动从而能够在晶圆的表面形成弧线的研磨痕迹，能够减小晶圆磨削后的损伤深度，为后工序做好加工质量铺垫，还可以提高晶圆磨削加工表面层质量，消除表面应力，并且能够减少磨轮损耗，提高磨轮的寿命,节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 机构 | ||
【主权项】：
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