[实用新型]一种晶圆研磨机构

权利要求书

1.一种晶圆研磨机构，其特征在于，包括基座、设置在所述基座上的研磨台以及设置在所述研磨台上方的研磨头，其中，

所述研磨台包括呈环形的固定板，设置在所述固定板底部的转动板以及与所述转动板固定连接的研磨板，所述研磨板上开设有若干个负压孔，所述研磨板盖设在所述固定板上并且与所述固定板之间形成负压腔，所述负压腔外接有负压管；

所述研磨头包括机架以及设置在所述机架上的研磨片，所述研磨片倾斜设置，所述机架连接有竖向驱动机构，所述研磨片连接有转动主轴。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机构，其特征在于，所述机架上设置有倾斜的安装孔，所述转动主轴穿设在所述安装孔上并且端部与所述研磨片连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机构，其特征在于，所述转动主轴为中空的轴构件，并且所述转动主轴的内壁设置有第一磁铁部，所述研磨片连接有转动从动轴，所述转动从动轴的一端穿过静压气体轴承并且容置在所述转动主轴内，所述静压气体轴承的端部设置有至少一个倾斜调整机构，所述转动从动轴的外壁上设置有与所述第一磁铁部相配合的第二磁铁部。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆研磨机构，其特征在于，所述静压气体轴承包括轴承壳体以及设置在所述轴承壳体内部的中空轴，所述中空轴套接在所述转动从动轴上，所述轴承壳体的上端面设置有推力板，所述推力板与所述倾斜调整机构连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机构，其特征在于，所述基座上还设置有转盘，所述研磨台有至少三个并且沿周向设置在所述转盘上，至少三个所述研磨台随所述转盘转动依次移动至所述研磨片的下方。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆研磨机构，其特征在于，所述基座上与所述研磨片相对应的位置上设置有第一转动驱动机构，至少三个所述研磨台均与所述第一转动驱动机构离合连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆研磨机构，其特征在于，所述转盘上设置有用导向槽，所述研磨台连接有直线驱动机构，所述研磨台可有所述直线驱动机构驱使而沿所述导向槽移动。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆研磨机构，其特征在于，所述转动板的下端设置有连接轴，所述连接轴的下端呈半圆形套筒状且设置有内花键，所述第一转动驱动机构设置有外花键。