[实用新型]一种晶圆键合对准结构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆键合对准结构，包括液压棒、承块和底座，晶圆外侧设置有两个与晶圆圆心对称的定位针，晶圆圆心中间设置有圆心孔，圆心孔周围设置有垫片，底座右侧设置有下部分镶嵌在底座内部的液压棒，液压棒上方设置有伸缩杆，伸缩杆上方连接有上承块，底座上方设置有下定位板，下定位板中间设置有转槽，转槽上方设置有轴承，转槽两侧设置有下定位块，且中间柱上方设置有右侧末端固定在上承块上的加强筋，连块右侧末端与上定位板固定，上定位板底部与连块平行，且上定位板底部与上承块平行，下定位板与上定位板平行，电机左侧延伸杆通过末端固定的转换器对下方的旋转轴连接，晶圆上的圆心孔半径与旋转柱横截面半径大小相同。