[实用新型]一种晶圆键合对准结构

权利要求书

1.一种晶圆键合对准结构，包括晶圆（1）、液压棒（18）、上承块（13）和底座（17），其特征在于：所述晶圆（1）外侧设置有两个与晶圆（1）圆心对称的定位针（4），晶圆（1）圆心中间设置有圆心孔（3），圆心孔（3）周围设置有垫片（2），底座（17）右侧设置有下部分镶嵌在底座（17）内部的液压棒（18），液压棒（18）上方设置有伸缩杆（16），伸缩杆（16）上方连接有上承块（13），底座（17）上方设置有下定位板（20），下定位板（20）中间设置有转槽（22），转槽（22）上方设置有轴承（23），转槽（22）两侧设置有下定位块（21），下定位块（21）内部设置有定位槽（14），且下定位板（20）右侧设置有限位块（19），上承块（13）右侧设置有固定在上承块（13）上的上定位板（6），上定位板（6）中间设置有旋转柱（15），旋转柱（15）上方设置有旋转轴（8），旋转柱（15）两侧设置有上定位块（7），上定位块（7）下方内部设置有定位槽（14），上定位板（6）左侧设置有连块（5），连块（5）右侧设置有中间柱（12），中间柱（12）上方设置有电机（10），电机（10）的延伸轴末端设置有转换器（9），且中间柱（12）上方设置有右侧末端固定在上承块（13）上的加强筋（11）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆键合对准结构，其特征在于：所述液压棒（18）底部镶嵌在底座（17）内部，且伸缩杆（16）上方顶部末端与上定位板（6）底部末端平行，伸缩杆（16）下方底部与下定位板（20）平行。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆键合对准结构，其特征在于：所述上承块（13）左侧固定的加强筋（11）右侧末端固定在上承块（13）上，加强筋（11）左侧末端固定在连块（5）上，连块（5）右侧末端与上定位板（6）固定，中间柱（12）左侧固定在连块（5）上，中间柱（12）右侧固定在上承块（13）上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆键合对准结构，其特征在于：所述电机（10）固定在中间柱（12）上，电机（10）左侧末端连接的转换器（9）下方安装有旋转轴（8），旋转轴（8）下方连接有旋转柱（15）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆键合对准结构，其特征在于：所述上定位板（6）底部与连块（5）平行，且上定位板（6）底部与上承块（13）平行，旋转柱（15）与转槽（22）契合，连块（5）顶部高度低于上承块（13）的高度。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆键合对准结构，其特征在于：所述底座（17）与下定位板（20）平行，下定位板（20）与上定位板（6）平行，电机（10）左侧延伸杆通过末端固定的转换器（9）对下方的旋转轴（8）连接，晶圆（1）上的圆心孔（3）半径与旋转柱（15）横截面半径大小相同。