[实用新型]一种沉积金刚石涂层的装置有效
申请号: | 202021859657.0 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN212894966U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 于朋彬;张士宪;赵晓萍 | 申请(专利权)人: | 山东坤伦纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/46;C23C16/27 |
代理公司: | 山东智达联合专利代理事务所(普通合伙) 37303 | 代理人: | 代春梅 |
地址: | 276800 山东省日照*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种沉积金刚石涂层的装置,包括底板和固定框,所述底板的顶部外壁固定连接有鼓风机,且固定框的内壁固定连接有气板,所述鼓风机的鼓风端通过管道连接于气板的内壁,且气板的顶部外壁等距离开有气孔,所述底板靠近鼓风机的顶部外壁固定连接有空气滤网,且鼓风机的进风端固定连接有进风管,进风管与空气滤网相接触,所述底板的顶部外壁固定连接有四个支撑柱,且四个支撑柱均固定连接于固定框的底部外壁。本实用新型通过设置有鼓风机和气板,进行金刚石涂层沉积操作时,对材料进行翻转后,启动鼓风机,鼓风机通过气板上的气孔对位于材料下方的金刚石涂层进行支撑,防止其从材料上脱落,提高金刚涂层沉积效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 沉积 金刚石 涂层 装置 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的