[实用新型]一种沉积金刚石涂层的装置有效
申请号: | 202021859657.0 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN212894966U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 于朋彬;张士宪;赵晓萍 | 申请(专利权)人: | 山东坤伦纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/46;C23C16/27 |
代理公司: | 山东智达联合专利代理事务所(普通合伙) 37303 | 代理人: | 代春梅 |
地址: | 276800 山东省日照*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 沉积 金刚石 涂层 装置 | ||
1.一种沉积金刚石涂层的装置,包括底板(1)和固定框(8),其特征在于,所述底板(1)的顶部外壁固定连接有鼓风机(16),且固定框(8)的内壁固定连接有气板(11),所述鼓风机(16)的鼓风端通过管道连接于气板(11)的内壁,且气板(11)的顶部外壁等距离开有气孔(13),所述底板(1)靠近鼓风机(16)的顶部外壁固定连接有空气滤网(15),且鼓风机(16)的进风端固定连接有进风管,进风管与空气滤网(15)相接触。
2.根据权利要求1所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,所述底板(1)的顶部外壁固定连接有四个支撑柱(10),且四个支撑柱(10)均固定连接于固定框(8)的底部外壁。
3.根据权利要求1所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,所述固定框(8)的一侧外壁固定连接有电机(9),且电机(9)的输出轴通过联轴器固定连接有转轴(14)。
4.根据权利要求3所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,所述固定框(8)的一侧内壁通过轴承连接有连接轴(3),且转轴(14)和连接轴(3)的另一端均固定连接有转动板(4)。
5.根据权利要求4所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,两个所述转动板(4)的相对一侧外壁均固定连接有两个液压缸(12),且位于同一个转动板(4)上的两个液压缸(12)的另一端固定连接有同一个夹持板(2),两个夹持板(2)的相对一侧外壁均等距离固定连接有摩擦块(5)。
6.根据权利要求1所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,所述固定框(8)的两侧内壁均固定连接有加热板(7),且两个加热板(7)的内壁均等距离固定连接有电加热管(6)。
7.根据权利要求1-6任一所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,所述气板(11)的内壁等距离固定连接有电加热丝(17)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的