[实用新型]一种沉积金刚石涂层的装置有效

专利信息
申请号: 202021859657.0 申请日: 2020-08-31
公开(公告)号: CN212894966U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 于朋彬;张士宪;赵晓萍 申请(专利权)人: 山东坤伦纳米科技有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;C23C16/46;C23C16/27
代理公司: 山东智达联合专利代理事务所(普通合伙) 37303 代理人: 代春梅
地址: 276800 山东省日照*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 沉积 金刚石 涂层 装置
【权利要求书】:

1.一种沉积金刚石涂层的装置,包括底板(1)和固定框(8),其特征在于,所述底板(1)的顶部外壁固定连接有鼓风机(16),且固定框(8)的内壁固定连接有气板(11),所述鼓风机(16)的鼓风端通过管道连接于气板(11)的内壁,且气板(11)的顶部外壁等距离开有气孔(13),所述底板(1)靠近鼓风机(16)的顶部外壁固定连接有空气滤网(15),且鼓风机(16)的进风端固定连接有进风管,进风管与空气滤网(15)相接触。

2.根据权利要求1所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,所述底板(1)的顶部外壁固定连接有四个支撑柱(10),且四个支撑柱(10)均固定连接于固定框(8)的底部外壁。

3.根据权利要求1所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,所述固定框(8)的一侧外壁固定连接有电机(9),且电机(9)的输出轴通过联轴器固定连接有转轴(14)。

4.根据权利要求3所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,所述固定框(8)的一侧内壁通过轴承连接有连接轴(3),且转轴(14)和连接轴(3)的另一端均固定连接有转动板(4)。

5.根据权利要求4所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,两个所述转动板(4)的相对一侧外壁均固定连接有两个液压缸(12),且位于同一个转动板(4)上的两个液压缸(12)的另一端固定连接有同一个夹持板(2),两个夹持板(2)的相对一侧外壁均等距离固定连接有摩擦块(5)。

6.根据权利要求1所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,所述固定框(8)的两侧内壁均固定连接有加热板(7),且两个加热板(7)的内壁均等距离固定连接有电加热管(6)。

7.根据权利要求1-6任一所述的一种沉积金刚石涂层的装置,其特征在于,所述气板(11)的内壁等距离固定连接有电加热丝(17)。

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