[实用新型]一种应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置

摘要

本实用新型为了解决载气装置使得载气在不与液态MO源物质反应的同时使得整个系统输送到工艺室内的液态MO源的蒸汽没有杂质的问题，提出一种应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置，采用氮气、氢气或者氩气作为载气，性能稳定，不易燃烧，不会爆炸，载气管路和液态源管路通过第一辅助管路连通，液态源管路的输出端还连接真空管路，通过第一辅助管路、真空管路和载气管路的配合，对整个液态源气化系统管道进行清洗，排除残渣。