[实用新型]一种应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置

权利要求书

1.一种应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置，包括：载气管路(1)、液态源管路(2)、蒸发器(3)、蒸发器管路(4)、第一辅助管路(8)、第二辅助管路(11)、第三辅助管路(12)、第四辅助管路(13)、真空管路(9)和工艺室(5)，载气管路(1)连接蒸发器(3)，蒸发器(3)连接蒸发器管路(4)，蒸发器管路(4)连接工艺室(5)，液态源管路(2)连接蒸发器(3)，其特征在于：液态源管路(2)还连接第二辅助管路(11)、第三辅助管路(12)和真空管路(9)的输入端，第二辅助管路(11)的输出端连接有蒸发器(3)，第三辅助管路(12)的输出端连接有蒸发器管路(4)，第四辅助管路(13)的输入端连接有蒸发器(3)，第四辅助管路(13)的输出端连接有真空管路(9)，第一辅助管路(8)的输入端连接载气管路(1)，第一辅助管路(8)的输出端连接液态源管路(2)。

2.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置，其特征在于：载气管路(1)上设有气体质量流量控制器(6)，气体质量流量控制器(6)用于测量和控制载气的流量。

3.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置，其特征在于：载气管路(1)、液态源管路(2)和蒸发器管路(4)上均设有一个或多个电动气动阀。

4.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置，其特征在于：液态源管路(2)上设有液体质量流量控制器(7)，液体质量流量控制器(7)用于测量和控制液态源的流量。

5.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置，其特征在于：液态源为三氯氢硅、三甲基镓和三甲基铝中的一种，载气为氮气、氢气或氩气中的一种。

6.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置，其特征在于：液态源为沸点在0℃～200℃范围内的液态源。

7.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置，其特征在于：载气管路(1)、液态源管路(2)、蒸发器管路(4)、第一辅助管路(8)、第二辅助管路(11)、第三辅助管路(12)、第四辅助管路(13)和真空管路(9)的材质为不锈钢。

8.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源气化系统的载气装置，其特征在于：真空管路(9)上设有氦气检漏阀(10)。