[实用新型]一种晶圆刷盘有效
| 申请号： | 202021817715.3 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN213001372U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 姬煜;赵通 | 申请（专利权）人： | 江苏无恙半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728 | 代理人： | 涂柳晓 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了—种晶圆刷盘，包括固定台，所述固定台的一侧固定连接有合页，所述合页的另一端固定连接有固定柱，所述固定柱的下端固定连接有第一支撑板，所述第一支撑板的上端固定连接有支撑台，所述支撑台的内部固定连接有第一电动机，所述第一电动机的另一端延伸处设置有第一电动机轴，所述第一电动机轴的另一端固定连接有第二支撑板，所述第二支撑板的上端固定连接有吸盘，所述固定台的内部固定连接有第二电动机，所述第二电动机的一端延伸处设置有第二电动机轴，所述第二电动机轴的侧壁固定连接有平键，所述平键的侧壁设置有套筒，所述套筒的侧壁固定连接有毛刷。本实用新型中，晶圆洗刷方便，并且毛刷可以自由拆卸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆刷盘 | ||
【主权项】：
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