[实用新型]一种晶圆刷盘

权利要求书

1.一种晶圆刷盘，包括固定台(16)，其特征在于：所述固定台(16)的一侧固定连接有合页(1)，所述合页(1)的另一端固定连接有固定柱(2)，所述固定柱(2)的下端固定连接有第一支撑板(3)，所述第一支撑板(3)的上端且远离固定柱(2)处固定连接有支撑台(6)，所述支撑台(6)的内部固定连接有第一电动机(7)，所述第一电动机(7)的另一端延伸处设置有第一电动机轴(8)，所述第一电动机轴(8)的另一端固定连接有第二支撑板(9)，所述第二支撑板(9)的上端固定连接有吸盘(5)，且吸盘(5)的数量为四个，所述固定台(16)的内部固定连接有第二电动机(15)，所述第二电动机(15)的一端延伸处设置有第二电动机轴(14)，所述第二电动机轴(14)的侧壁固定连接有平键(20)，且平键(20)的数量为四个，所述平键(20)的侧壁设置有套筒(13)，所述套筒(13)的侧壁固定连接有毛刷(10)，所述固定台(16)的另一端固定连接有滑柱(19)，且滑柱(19)的数量为三个，所述滑柱(19)的另一端侧壁设置有伸缩块(12)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆刷盘，其特征在于：所述固定柱(2)的一侧固定连接有支撑架(4)，且支撑架(4)的另一端设置在固定台(16)上。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆刷盘，其特征在于：所述伸缩块(12)的另一端固定连接有手把(11)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆刷盘，其特征在于：所述第二电动机轴(14)的两端设置在固定台(16)与伸缩块(12)之间。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆刷盘，其特征在于：所述第二电动机(15)的数量为两个，且均匀分布在固定台(16)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆刷盘，其特征在于：所述吸盘(5) 的材质为塑料橡胶材质。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆刷盘，其特征在于：所述固定台(16)的两侧均固定连接有卡槽(17)，所述卡槽(17)的中部设置有卡柱(18)，且卡柱(18)的另一端固定连接在伸缩块(12)上。