[实用新型]一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置有效
| 申请号: | 202021808137.7 | 申请日: | 2020-08-26 |
| 公开(公告)号: | CN213378190U | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
| 发明(设计)人: | 徐扶建 | 申请(专利权)人: | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司: | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人: | 沈相权 |
| 地址: | 311201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,所属硅片洗净设备技术领域,包括底板,所述的底板上端中部设有导向板,所述的导向板前后两端均设有与底板相螺栓紧固的导向板固定块,所述的底板两侧边、导向板两侧端均设有侧板,所述的侧板前后两端均设有与底板相螺栓紧固的侧板固定块,所述的底板前端设有位于两侧板固定块之间的装片口,所述的两侧板间均设有呈对称式分布的背板,所述的背板左右两侧均设有与底板相螺栓紧固的背板固定块。具有结构简单、维修稳定性好、操作简单和使用效果好的特点。解决了硅片装盒过程脱离正确位置的问题。避免频繁发生设备故障及产品不良的现象。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 洗净 水中 硅片 定位 导向 装置 | ||
【主权项】:
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