[实用新型]一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置

说明书

本实用新型涉及一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置，所属硅片洗净设备技术领域，包括底板，所述的底板上端中部设有导向板，所述的导向板前后两端均设有与底板相螺栓紧固的导向板固定块，所述的底板两侧边、导向板两侧端均设有侧板，所述的侧板前后两端均设有与底板相螺栓紧固的侧板固定块，所述的底板前端设有位于两侧板固定块之间的装片口，所述的两侧板间均设有呈对称式分布的背板，所述的背板左右两侧均设有与底板相螺栓紧固的背板固定块。具有结构简单、维修稳定性好、操作简单和使用效果好的特点。解决了硅片装盒过程脱离正确位置的问题。避免频繁发生设备故障及产品不良的现象。

技术领域

本实用新型涉及硅片洗净设备技术领域，具体涉及一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置。

背景技术

目前，半导体制造工程等湿式洗净装置是将洗净媒介装入盒中进行洗净，整体上很多工艺中会进行加工及洗净过程。单位工程中加工后，在洗净装置移动及投入洗净媒介的过程中为了防止干燥，会维持湿的状态。

将洗净媒介装入盒中，将水中硅片装盒后洗净。大部分的湿式洗净机在水中的硅片装盒定位导向装置较小，再加上投入时会产生波纹，很难找到正确位置。若在清洗过程中因人工操作导致脱离正确位置，使得移送过程中发生错误，会导致频繁发生设备故障及产品不良。

发明内容

本实用新型主要解决现有技术中存在运行稳定性差、操作难度大和使用效果差的不足，提供了一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置，其具有结构简单、维修稳定性好、操作简单和使用效果好的特点。解决了硅片装盒过程脱离正确位置的问题。避免频繁发生设备故障及产品不良的现象。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置，包括底板，所述的底板上端中部设有导向板，所述的导向板前后两端均设有与底板相螺栓紧固的导向板固定块，所述的底板两侧边、导向板两侧端均设有侧板，所述的侧板前后两端均设有与底板相螺栓紧固的侧板固定块，所述的底板前端设有位于两侧板固定块之间的装片口，所述的两侧板间均设有呈对称式分布的背板，所述的背板左右两侧均设有与底板相螺栓紧固的背板固定块。

作为优选，所述的侧板与底板间、背板与底板间均设有若干锁紧组件。

作为优选，所述的锁紧组件包括与底板相嵌套的弹簧，所述的弹簧与侧板间、弹簧与背板间均设有与弹簧卡嵌式套接的钢球。

作为优选，所述的底板上设有水位线，所述的侧板、导向板、背板均延伸出水位线。

作为优选，所述的侧板固定块呈“L”状结构。

作为优选，所述的侧板上部均设有手柄孔，所述的手柄孔呈“U”形状。

本实用新型能够达到如下效果：

本实用新型提供了一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置，与现有技术相比较，具有结构简单、维修稳定性好、操作简单和使用效果好的特点。解决了硅片装盒过程脱离正确位置的问题。避免频繁发生设备故障及产品不良的现象。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的俯视结构示意图。

图3是本实用新型的侧视结构示意图。

图4是本实用新型中的锁紧组件的结构示意图。

图中：侧板1，底板2，水位线3，导向板4，背板5，侧板固定块6，装片口7，导向板固定块8，背板固定块9，手柄孔10，锁紧组件11，钢球12，弹簧13。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。