[实用新型]一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置有效

专利信息
申请号: 202021808137.7 申请日: 2020-08-26
公开(公告)号: CN213378190U 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 徐扶建 申请(专利权)人: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/68
代理公司: 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 代理人: 沈相权
地址: 311201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 洗净 水中 硅片 定位 导向 装置
【权利要求书】:

1.一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:包括底板(2),所述的底板(2)上端中部设有导向板(4),所述的导向板(4)前后两端均设有与底板(2)相螺栓紧固的导向板固定块(8),所述的底板(2)两侧边、导向板(4)两侧端均设有侧板(1),所述的侧板(1)前后两端均设有与底板(2)相螺栓紧固的侧板固定块(6),所述的底板(2)前端设有位于两侧板固定块(6)之间的装片口(7),所述的两侧板(1)间均设有呈对称式分布的背板(5),所述的背板(5)左右两侧均设有与底板(2)相螺栓紧固的背板固定块(9)。

2.根据权利要求1所述的一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:所述的侧板(1)与底板(2)间、背板(5)与底板(2)间均设有若干锁紧组件(11)。

3.根据权利要求2所述的一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:所述的锁紧组件(11)包括与底板(2)相嵌套的弹簧(13),所述的弹簧(13)与侧板(1)间、弹簧(13)与背板(5)间均设有与弹簧(13)卡嵌式套接的钢球(12)。

4.根据权利要求1所述的一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:所述的底板(2)上设有水位线(3),所述的侧板(1)、导向板(4)、背板(5)均延伸出水位线(3)。

5.根据权利要求1所述的一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:所述的侧板固定块(6)呈“L”状结构。

6.根据权利要求1所述的一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:所述的侧板(1)上部均设有手柄孔(10),所述的手柄孔(10)呈“U”形状。

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