[实用新型]一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置有效
| 申请号: | 202021808137.7 | 申请日: | 2020-08-26 | 
| 公开(公告)号: | CN213378190U | 公开(公告)日: | 2021-06-08 | 
| 发明(设计)人: | 徐扶建 | 申请(专利权)人: | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 | 
| 主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/68 | 
| 代理公司: | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人: | 沈相权 | 
| 地址: | 311201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 洗净 水中 硅片 定位 导向 装置 | ||
1.一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:包括底板(2),所述的底板(2)上端中部设有导向板(4),所述的导向板(4)前后两端均设有与底板(2)相螺栓紧固的导向板固定块(8),所述的底板(2)两侧边、导向板(4)两侧端均设有侧板(1),所述的侧板(1)前后两端均设有与底板(2)相螺栓紧固的侧板固定块(6),所述的底板(2)前端设有位于两侧板固定块(6)之间的装片口(7),所述的两侧板(1)间均设有呈对称式分布的背板(5),所述的背板(5)左右两侧均设有与底板(2)相螺栓紧固的背板固定块(9)。
2.根据权利要求1所述的一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:所述的侧板(1)与底板(2)间、背板(5)与底板(2)间均设有若干锁紧组件(11)。
3.根据权利要求2所述的一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:所述的锁紧组件(11)包括与底板(2)相嵌套的弹簧(13),所述的弹簧(13)与侧板(1)间、弹簧(13)与背板(5)间均设有与弹簧(13)卡嵌式套接的钢球(12)。
4.根据权利要求1所述的一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:所述的底板(2)上设有水位线(3),所述的侧板(1)、导向板(4)、背板(5)均延伸出水位线(3)。
5.根据权利要求1所述的一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:所述的侧板固定块(6)呈“L”状结构。
6.根据权利要求1所述的一种洗净机水中的硅片装盒定位导向装置,其特征在于:所述的侧板(1)上部均设有手柄孔(10),所述的手柄孔(10)呈“U”形状。
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