[实用新型]一种测量微棱镜反射波前的干涉仪有效
| 申请号: | 202021801166.0 | 申请日: | 2020-08-25 |
| 公开(公告)号: | CN212513350U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
| 发明(设计)人: | 祝沛 | 申请(专利权)人: | 上海乾曜光学科技有限公司 |
| 主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G01J9/02;G01M11/02 |
| 代理公司: | 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 | 代理人: | 王风平 |
| 地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种测量微棱镜反射波前的干涉仪,与干涉仪本体相对应,干涉仪本体上安装有镜头;所述镜头的前方安装有待测的棱镜;所述镜头上设置有球面镜片,球面镜片的光线直射到待测的棱镜上;所述待测的棱镜的一侧设置有球面反射镜;球面反射镜的凹面面对待测的棱镜。本实用新型能够实现与实际使用场景完全吻合的效果,并且检测结果能够真实反映微棱镜面形对光学系统的影响,可靠性得到了大幅度的提升。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 测量 棱镜 反射 干涉仪 | ||
【主权项】:
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