[实用新型]一种测量微棱镜反射波前的干涉仪有效
| 申请号： | 202021801166.0 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN212513350U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 祝沛 | 申请（专利权）人： | 上海乾曜光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00;G01J9/02;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 | 代理人： | 王风平 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 棱镜 反射 干涉仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，与干涉仪本体相对应，干涉仪本体上安装有镜头；所述镜头的前方安装有待测的棱镜；
其特征在于：
所述镜头上设置有球面镜片，球面镜片的光线直射到待测的棱镜上；所述待测的棱镜的一侧设置有球面反射镜；球面反射镜的凹面面对待测的棱镜。
2.根据权利要求1所述的一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，其特征在于：所述待测的棱镜的侧面为工作面，工作面斜向设置；工作面、球面反射镜和球面镜片呈直角三角形形状排列。
3.根据权利要求2所述的一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，其特征在于：所述球面镜头的F数为2.8-7.0。
4.根据权利要求3所述的一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，其特征在于：所述球面镜头的F数为5.6。
5.根据权利要求2所述的一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，其特征在于：所述球面反射镜的曲率半径与直径比例为2.8。
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