[实用新型]一种测量微棱镜反射波前的干涉仪

说明书

本实用新型公开了一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，与干涉仪本体相对应，干涉仪本体上安装有镜头；所述镜头的前方安装有待测的棱镜；所述镜头上设置有球面镜片，球面镜片的光线直射到待测的棱镜上；所述待测的棱镜的一侧设置有球面反射镜；球面反射镜的凹面面对待测的棱镜。本实用新型能够实现与实际使用场景完全吻合的效果，并且检测结果能够真实反映微棱镜面形对光学系统的影响，可靠性得到了大幅度的提升。

技术领域

本实用新型涉及干涉仪领域，具体而言，涉及一种测量微棱镜反射波前的干涉仪。

背景技术

微棱镜的斜面是工作面，其面形或反射波前的检测，需要借助于激光干涉仪。激光良好的空间相干性和时间相干性是一把双刃剑，在测试微棱镜工作面的反射波前时，其两个直角面的内反射光同样会形成干涉条纹，与正常的干涉条纹叠加在一起，干扰测量。

现有的技术方案：

如图1所示，方案1的干涉仪安装平面参考镜14，干涉仪的镜头12平行光出射，待测的棱镜13的工作面(斜面)正对着平行光放置，干涉仪检测的是工作面的面形。

缺点在于，除了工作面的反射光外，棱镜13两个直角面的内反射光也会原路返回干涉仪11，且由于两个直角面的反射均为全反，因此干扰光束的强度还远远超过工作面的反射光(工作面的反射光强是入射光强的4％，而干扰光强是入射光强的96％*96％＝92％)，工作面形成的干涉条纹几乎不可观察。只能在直角面涂抹凡士林类的油脂来消除干扰光。凡士林的涂抹和清洁会严重影响测试的效率，且有可能造成表面光洁度的损伤。

如图2所示，方案2的干涉仪21安装平面镜头22，干涉仪21的平行光出射，待测的棱镜23的工作面与平行光成45度或其他角度放置，光束经斜面反射后，经平面反射镜返回。干涉仪检测的是工作面的反射波前。

方案2是在方案1的基础上有了改良，测量光束与棱镜工作面以45度(或其他角度)入射，直角面内反射光束的光强会弱于工作面的反射光，形成的干扰也会减弱，但依然无法完全消除，而且，检测的光路是平行光传输，而微棱镜的实际使用场景中，光束是球面波传输，测试结果并不能真实反映实际场景的影响。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术的缺点，提供了一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，解决了上述技术的缺陷。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种测量微棱镜反射波前的干涉仪，与干涉仪本体相对应，干涉仪本体上安装有镜头；所述镜头的前方安装有待测的棱镜；其特征在于：所述镜头上设置有球面镜片，球面镜片的光线直射到待测的棱镜上；所述待测的棱镜的一侧设置有球面反射镜；球面反射镜的凹面面对待测的棱镜。

优化的方案，所述待测的棱镜的侧面为工作面，工作面斜向设置；工作面、球面反射镜和球面镜头呈直角三角形形状排列。

优化的方案，所述球面镜头的F数为2.8-7.0。

优化的方案，所述球面镜头的F数为5.6。

优化的方案，所述球面反射镜的曲率半径与直径比例为2.8。

由于采用了上述技术，与现有技术相比较，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型能够实现与实际使用场景完全吻合的效果，并且检测结果能够真实反映微棱镜面形对光学系统的影响，可靠性得到了大幅度的提升。

2、本实用新型在检测过程中，棱镜的直角面反射光不会返回干涉仪的相机内，不会对图像产生干扰。

附图说明

图1为背景技术中方案1的原理结构示意图；

图2为背景技术中方案2的原理结构示意图；