[实用新型]晶圆检测设备有效
| 申请号： | 202021751111.3 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN212845981U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 王伟;张淑荣 | 申请（专利权）人： | 昆山瑞伯恩精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/10 | 分类号： | G01V8/10;G01V1/00 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 郭磊 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆检测设备，包括：底架和设置在所述底架上的至少一个检测装置；所述底架上设有至少一个和所述检测装置对应设置的料盒放置区域；所述检测装置包括固定在所述底架上方的直线驱动装置固定座、固定在所述直线驱动装置固定座上的直线驱动装置、被所述直线驱动装置驱动的连接架，所述连接架的两端分别固定线对射传感器发射单元和线对射传感器接收单元；其中，所述直线驱动装置驱动所述连接架朝着所述料盒放置区域的方向直线运动。本实用新型的有益效果：利用线对射传感器发射单元和线对射传感器接收单元配合检查是否漏放晶圆，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 设备 | ||
【主权项】：
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