[实用新型]晶圆检测设备

权利要求书

1.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括：底架和设置在所述底架上的至少一个检测装置；所述底架上设有至少一个和所述检测装置对应设置的料盒放置区域；

所述检测装置包括固定在所述底架上方的直线驱动装置固定座、固定在所述直线驱动装置固定座上的直线驱动装置、被所述直线驱动装置驱动的连接架，所述连接架的两端分别固定线对射传感器发射单元和线对射传感器接收单元；其中，所述直线驱动装置驱动所述连接架朝着所述料盒放置区域的方向直线运动。

2.如权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述连接架包括横杆、第一竖杆和第二竖杆；所述第一竖杆固定在所述横杆的一端，所述第二竖杆固定在所述横杆的另一端；所述横杆、第一竖杆和第二竖杆三者成匚型，所述第一竖杆远离所述横杆的一端固定所述线对射传感器发射单元，所述第二竖杆远离所述横杆的一端固定所述线对射传感器接收单元。

3.如权利要求2所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述横杆平行于所述料盒放置区域，所述第一竖杆垂直于所述料盒放置区域，所述第二竖杆垂直于所述料盒放置区域。

4.如权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述检测装置的数量为两个，所述料盒放置区域的数量对应设置两个，两个所述检测装置对称设置，两个所述料盒放置区域对称设置。

5.如权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述线对射传感器发射单元包括透射镜片、激光器模组、激光驱动电路板以及发射模块外壳；所述激光器模组与所述激光驱动电路板电连接，所述透射镜片设置于所述激光器模组的输出端；所述发射模块外壳内装入所述透射镜片、所述激光器模组和所述激光驱动电路板。

6.如权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述线对射传感器接收单元包括滤光镜片、接收光敏器件、接收信号处理电路板以及接收模块外壳，所述接收光敏器件与所述接收信号处理电路板电连接，所述滤光镜片设置于所述接收光敏器件的输入端；所述接收模块外壳内装入所述滤光镜片、所述接收光敏器件和所述接收信号处理电路板。

7.如权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述直线驱动装置是气缸、直线电机或者油缸。

8.如权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述线对射传感器发射单元为红外线线对射传感器发射单元；对应地，所述线对射传感器接收单元为红外线线对射传感器接收单元。

9.如权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述线对射传感器发射单元为超声波线对射传感器发射单元；对应地，所述线对射传感器接收单元为超声波线对射传感器接收单元。

10.如权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述底架上四个角上各设有一个减震地脚，所述减震地脚的材料是橡胶材料。